靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)是凈化車間最難控制（control)的因素(factor)之一,靜電會增加半導體(semiconductor)器件生產(Produce)中的廢品增多并降低（reduce)電子設備的可靠性。電子廠凈化車間凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。因此，在半導體器件的生產中，必須防止靜電對器件的作用。有許多方法可以消除靜電，對于具有防靜電環境要求的凈化車間工程，通常使用以下方法：
1、凈化車間需選用合適的材料：
凈化車間裝修要采用不易產生靜電或產生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時，應選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導體或電的絕緣體。導體是電流(Electron flow)能通過的材料，絕緣體是電流不能通過的材料。
2、接地：
接地是帶電導體消除靜電最為普遍、經濟、簡便、可靠的方法。
(1) 凈化車間內可能（maybe)產生靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施（指針對問題的解決辦法)。電子廠凈化車間送回風管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發泡塑膠板高效送風口用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網板用烤漆鋁板。地面可采用環氧自流坪地坪或高級耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
(2) 電子工業潔凈室的圍護結構(吊頂、地面、墻、柱)應采用防靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設備接地。
(4)凈化車間的辦公設備應采用能防靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)的材料制成并接地。
(5)凈化車間工作人員應穿戴防靜電的無塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3、中和：
將帶電體(靜電(是一種處于靜止狀態的電荷))周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場(定義:傳遞實物間磁力作用的場)（electromagnetic field)作用下發生遷移，帶電體吸引異性電荷(electric charge)達到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產生電 子和離子的裝置，它產生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。凈化車間的絕緣材料(合成樹脂)表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。
4、濕度控制：
在眾多消除靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)的方法中，室內濕度控制（control)也被認為可以用來減少和消除凈化車間靜電。GMP凈化車間GMP要求制藥、食品等生產企業應具備良好的生產設備，合理的生產過程，完善的質量管理和嚴格的檢測系統，確保最終產品質量（包括食品安全衛生等）符合法規要求。通過在環境中保持高的相對濕度，在該區域內物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導電的通道，使得可能產生的電荷(electric charge)流過該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤滑性，摩擦生電也將減少。一般來說，濕度越低，產生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時也會產生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環境中，凈化車間生產人員可能會感覺十分不舒服，零部件可能生銹，并產生可焊性問題。同時，企圖用濕度控制來消除靜電的方法顯然是高耗費的，尤其在干燥地區更是如此。